VOCs废气治理技术的主要设备（废气净化塔）又称之为：喷淋塔、填料塔、洗涤塔、中和塔，能有效去除VOCs、氯化氢气体（HCl）、氟化氢气体（HF）、氨气（NH3）、硫酸雾（H2SO4）、铬酸雾（CrO3）、氰氢酸气体（HCN）、碱蒸气（NaOH）、硫化氢气体（H2S）、福尔马林（HCHO）等水溶性气体。
VOCs废气净化塔基本特点是结构简单、压降低、填料可用耐腐蚀材料制造。填料塔操作时，液体自塔上部进入，通过液体分布器均匀喷洒于塔截面上。在填料层内，液体沿填料表面自动分散呈膜状流下。各层填料之间设有液体再分布器，将液体重新均布于塔截面上，进入下层填料。 气体自塔下部进入，通过填料缝隙自由空间，从塔上部排出。离开填料层的气体可能挟带少量雾滴，因此，需要在塔顶安装除沫器。气液两相在填料塔内进行接触，填料上的液膜表面即为气液两相的主要传质表面。在气液两相逆流流动的填料塔内，正常操作时气相是连续相，液相是分散相。这是一种无害的有机废气处理方式。生物净化法实际上是利用微生物的生命活动将废气中的有害物质转变成简单的无机物(如二氧化碳和水)以及细胞物质等，主要工艺有生物洗涤法。
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